一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜装置

摘要

一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，包括真空炉罩、设置于真空炉罩的放置平台，所述真空炉罩近端部开设有进气口，底端开设有抽气口，其特征在于放置平台上方设置有热丝架，所述真空炉罩顶端正对拉丝以及拉丝模设置有风扇。颠覆了现有热丝法沉积金刚石薄膜的方法，有效防止模具内孔很小，热丝在加热过程中自身下垂与抖动损坏模具内孔表面，导致模具直接报废的现象，采用将热丝设置于拉丝模外进行沉积金刚石薄膜，提高了成品率，并且解决了微孔拉丝模沉积金刚石薄膜困难的问题，降低了生产成本。

主权项

一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，包括真空炉罩、设置于真空炉罩的放置平台，所述真空炉罩近端部开设有进气口，底端开设有抽气口，其特征在于放置平台上方设置有热丝架，所述真空炉罩顶端正对拉丝以及拉丝模设置有风扇。