发明名称 一种自组装LaAlO<sub>3</sub>纳米线、制备及应用
摘要 一种自组装LaAlO<sub>3</sub>纳米线、制备及应用,属于高温超导材料制备技术领域。纳米线之间的取向差基本为0;数目在10-100个/μm<sup>2</sup>;垂直基板方向的高度为0.2-4nm,平行基板方向的长度为50-1000nm,平行基板方向的宽度在10nm-100nm;分布均匀且无团结。本发明通过将(001)-LaAlO<sub>3</sub>或(001)-SrTiO<sub>3</sub>单晶基板偏离标准(001)取向一定角度切割并抛光,然后再经过热处理工艺,即可在基板表面获得自组装的纳米线。本发明工艺及其简单,价格低廉,纳米线的形态可根据偏离角度调控,为沉积超导薄膜提供了一种简单高效的工程表面,有利于市场化的推进。
申请公布号 CN103746071A 申请公布日期 2014.04.23
申请号 CN201410009515.8 申请日期 2014.01.09
申请人 北京工业大学 发明人 索红莉;徐燕;刘敏;任程;仪宁;田辉;王毅;马麟
分类号 H01L39/12(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 H01L39/12(2006.01)I
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人 张慧
主权项 一种自组装LaAlO<sub>3</sub>纳米线,其特征在于,纳米线之间的取向差基本为0;数目在10‑100个/μm<sup>2</sup>;垂直基板方向的高度为0.2‑4nm,平行基板方向的长度为50‑1000nm,平行基板方向的宽度在10nm‑100nm。
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