| 发明名称 | 一种涂胶机室 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种涂胶机室，包括胶杯、涂胶机台，所述涂胶机台包括晶片和吸盘，晶片设置于吸盘上，所述胶杯为圆台状，其横截面为T形，所述吸盘的位置与胶杯内侧顶端的间距为0.6―1.5cm，晶片边缘与胶杯侧壁的最短距离为2―4cm，在整个涂布过程中，使用了新型的胶杯外壳装置，相比原来的胶杯，外壳大小，高度，及斜面的改良，彻底的解决了第五步中甩出的光刻胶反溅回晶片表面造成缺陷，提升了涂布光刻胶这一步工艺中的良率及降低返工率。 | ||
| 申请公布号 | CN203561823U | 申请公布日期 | 2014.04.23 |
| 申请号 | CN201320588085.0 | 申请日期 | 2013.09.23 |
| 申请人 | 西安神光安瑞光电科技有限公司 | 发明人 | 胡锋涛;陈起伟;侯柏宇;邓觉为;罗建华;李斌;种景;杜兴时 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人 | 商宇科 |
| 主权项 | 一种涂胶机室，包括胶杯、涂胶机台，所述涂胶机台包括晶片和吸盘，晶片设置于吸盘上，其特征在于：所述胶杯为圆台状，其横截面为T形。 | ||
| 地址 | 710100 陕西省西安市航天基地东长安街888号 | ||