发明名称 |
双相清洁室以及包括双相清洁室的组件 |
摘要 |
在一实施方式中,双相清洁室可包括湍流混合室、流体扩散器、等静压室和破裂减轻喷嘴。所述湍流混合室可与第一流体入口和第二流体入口流体连通。所述流体扩散器可与所述湍流混合室流体连通。所述破裂减轻喷嘴可包括第一流体收集支管、第二流体收集支管和位移阻尼突起部。所述位移阻尼突起部可设置在所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管之间且可自所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管中的每一个偏移,且朝向所述流体扩散器。从所述第一流体入口、所述第二流体入口、或者从该二者引入的加压清洁流体流过所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管的所述出口通道。 |
申请公布号 |
CN103748971A |
申请公布日期 |
2014.04.23 |
申请号 |
CN201280035797.8 |
申请日期 |
2012.07.13 |
申请人 |
朗姆研究公司 |
发明人 |
阿尔曼·阿沃杨;克利夫·拉克鲁瓦;石洪 |
分类号 |
H05H1/34(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;C23C16/505(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/34(2006.01)I |
代理机构 |
上海胜康律师事务所 31263 |
代理人 |
李献忠 |
主权项 |
一种包括湍流混合室、流体扩散器、等静压室和破裂减轻喷嘴的双相清洁室,其中:所述湍流混合室与用于提供第一相的第一流体入口和用于提供第二相的第二流体入口流体连通;所述流体扩散器包括面朝湍流的表面、面朝等静压的表面以及在所述面朝湍流的表面和所述面朝等静压的表面之间的多个扩散流动路径;所述流体扩散器与所述湍流混合室流体连通使得所述流体扩散器的所述面朝湍流的表面面朝所述湍流混合室;所述破裂减轻喷嘴包括第一流体收集支管、第二流体收集支管和位移阻尼突起部;所述等静压室与所述流体扩散器流体连通使得所述流体扩散器的所述面朝等静压的表面面朝所述等静压室;所述位移阻尼突起部设置在所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管之间;所述位移阻尼突起部自所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管中的每一个偏移,且朝向所述流体扩散器;所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管中的每一个都包括与环境压力流体连通的出口通道;以及所述破裂减轻喷嘴与所述流体扩散器流体连通使得从所述第一流体入口、所述第二流体入口、或者从该二者引入的加压清洁流体流过所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管的所述出口通道。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |