发明名称 一种太阳能电池片的刻蚀方法
摘要 本发明提供一种刻蚀太阳能电池片的方法,所述方法包括以下步骤:将所述太阳能电池片整齐排好,放入夹具中,所述夹具具有两个相对的支柱,所述太阳能电池片的对角线与所述两个支柱的连线的夹角为30~60°;将夹具加紧;以及采用等离子辉光刻蚀工艺对所述太阳能电池片进行刻蚀。本发明的刻蚀太阳能电池片的方法可大大改善由于刻蚀不净而引起的电池漏电,明显提高了刻蚀后的太阳能电池片的平均并联电阻,整体改善电池的质量。
申请公布号 CN103746042A 申请公布日期 2014.04.23
申请号 CN201410037555.3 申请日期 2014.01.26
申请人 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 发明人 和江变;马承鸿;宗灵仑;李洪雨;冯国江;于利亚
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 于宝庆;刘春生
主权项 一种刻蚀太阳能电池片的方法,包括:将所述太阳能电池片整齐排好,放入夹具中,所述夹具具有两个相对的支柱,所述太阳能电池片的对角线与所述两个支柱的连线的夹角为30~60°;将夹具加紧;以及采用等离子辉光刻蚀工艺对所述太阳能电池片进行刻蚀。
地址 010111 内蒙古自治区呼和浩特市如意开发工业新区