一种碱金属谐振器及其制备方法

摘要

本发明公开一种碱金属谐振器及其制备方法。碱金属谐振器是由玻璃-硅-玻璃，通过两次静电键合，形成的三明治结构。碱金属通过谐振器侧面预留通孔移植到碱金属谐振腔内；然后，用低温焊料，在手套箱中完成碱金属谐振器的封闭操作。本发明采用了MEMS的工艺，可以进行批量生产，成本低；另外，碱金属的移植是在静电键合工艺过程之后进行的，不会影响静电键合质量；碱金属谐振腔内植入是纯碱金属，不含任何其余物质，不会影响信号质量；不需要对碱金属做任何处理，有效的降低了碱金属谐振器制造成本和制作周期。

主权项

一种制备碱金属谐振器的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在清洗后的硅片中间制备出作为谐振腔的通孔，并在硅片的周边制备一开口，所述开口的一端与谐振腔连通； （2）通过静电键合方式对上述带有通孔与开口的硅片进行玻璃‑硅片‑玻璃静电键合，形成三明治结构；（3）在开口两侧硅片的表面溅射金属；（4）在手套箱中，将碱金属通过开口移植至谐振腔内；然后将缓冲气体充入谐振腔内；再利用熔点为45～180℃的焊料将开口密封即完成碱金属谐振器的制备。