| 发明名称 | 包含百叶窗的背景减少系统 | ||
| 摘要 | 一种背景减少系统可包含但不限于：带电粒子源，其经配置以产生带电粒子束；百叶窗结构，其包含一个或一个以上孔口，所述一个或一个以上孔口经配置以根据带电粒子的入射角而选择性地透射所述带电粒子；及带电粒子检测器，其经配置以接收由所述百叶窗结构选择性地透射的带电粒子。 | ||
| 申请公布号 | CN103748483A | 申请公布日期 | 2014.04.23 |
| 申请号 | CN201280039957.6 | 申请日期 | 2012.06.07 |
| 申请人 | 科磊股份有限公司 | 发明人 | 迈赫兰·纳赛尔-古德西;克里斯多夫·西尔斯;罗伯特·海恩斯 |
| 分类号 | G01T3/00(2006.01)I | 主分类号 | G01T3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 张世俊 |
| 主权项 | 一种背景减少系统，其包括：带电粒子源，其经配置以产生带电粒子束；及百叶窗结构，其包含一个或一个以上孔口，所述一个或一个以上孔口经配置以根据带电粒子的入射角而选择性地透射所述带电粒子；带电粒子检测器，其经配置以接收由所述百叶窗结构选择性地透射的带电粒子。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||