发明名称 一种发光二极管制造方法及采用该方法制得的发光二极管
摘要 本发明公开了一种发光二极管制造方法及采用该方法制得的发光二极管,属于光电器件领域。所述方法包括:提供一蓝宝石衬底,并在蓝宝石衬底的第一表面上依次向上生长N型层、发光层和P型层;在N型层上蒸镀N电极,在P型层上蒸镀P电极;将蓝宝石衬底的第二表面进行研磨抛光,在蓝宝石衬底的第二表面上蒸镀一层Al粘附层,蓝宝石衬底的第一表面与第二表面相反;在Al粘附层上蒸镀一层Ag反射层;对Al粘附层和Ag反射层进行退火处理,以使得Al粘附层分别与蓝宝石衬底和Ag反射层形成紧密结合。Al粘附层对蓝宝石衬底和Ag反射层都有很高的粘附性,保证了Ag反射层和蓝宝石衬底之间高度可靠的粘附性,同时,反射率效果好,工艺简单,可操作性强。
申请公布号 CN103746047A 申请公布日期 2014.04.23
申请号 CN201310681224.9 申请日期 2013.12.13
申请人 华灿光电(苏州)有限公司 发明人 刘源;徐瑾;王江波
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/46(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人 徐立
主权项 一种发光二极管制造方法,其特征在于,所述方法包括:提供一蓝宝石衬底,并在所述蓝宝石衬底的第一表面上依次向上生长N型层、发光层和P型层;在所述N型层上蒸镀N电极,在所述P型层上蒸镀P电极;将所述蓝宝石衬底的第二表面进行研磨抛光,在所述蓝宝石衬底的第二表面上蒸镀一层Al粘附层,所述蓝宝石衬底的所述第一表面与所述第二表面相反;在所述Al粘附层上蒸镀一层Ag反射层;对所述Al粘附层和所述Ag反射层进行退火处理,以使得所述Al粘附层分别与所述蓝宝石衬底和所述Ag反射层形成紧密结合。
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