一种SEM用氨气报警装置

摘要

本实用新型所述的一种SEM用氨气报警装置,包括机械泵、机械泵罩、抽风机、报警器和氨气浓度感应器、排气管、导线。机械泵上套有机械泵罩；氨气浓度感应器在机械泵罩内壁；报警器与氨气浓度感应器连接；抽风机与报警器用过导线连接；抽风机通过排气管与机械泵罩连接。当氨气浓度达到25-50ppm时，氨气浓度感应器自动感应，将信号传递给报警器，报警器发出警报，自动控制抽风机将扫描电镜产生的氨气抽出室内。

主权项

一种SEM用氨气报警装置,包括机械泵、机械泵罩、抽风机、报警器和氨气浓度感应器、排气管、导线，其特征是：机械泵上套有机械泵罩；氨气浓度感应器在机械泵罩内壁；报警器与氨气浓度感应器连接；抽风机与报警器用导线连接；抽风机通过排气管与机械泵罩连接。