单晶炉快速冷却装置

摘要

单晶炉快速冷却装置，包括冷却管及其驱动装置，冷却管设有冷却介质进口和冷却介质出口；在单晶炉运行过程中，将冷却管下降到单晶炉外部、保温层以下；在单晶炉拉晶结束后，冷却管在驱动装置的驱动下升高至单晶炉主室的高温区，通过冷却介质与炉内高温热场部件及环境之间进行热交换；冷却结束后，冷却管受驱动装置的驱动下降至单晶炉外部。本实用新型快速冷却单晶炉装置结构简单，使用方便，冷却效果好。本实用新型冷却方法简单易行，可及时对单晶炉主室进行强制冷却，与自然冷却相比，可以缩短2-4h（或30-40%）的停炉冷却时间，提高了单晶炉设备利用率及生产效率，降低了晶体生长成本。

主权项

单晶炉快速冷却装置，其特征在于：包括冷却管(1)及其驱动装置，所述冷却管(1)设有冷却介质进口(2)和冷却介质出口(3)；所述冷却管(1)为波纹管或螺旋管；单晶炉拉晶结束后，所述冷却管(1)在驱动装置的驱动下，升高至单晶炉主室的高温区，冷却结束后，所述冷却管(1)在驱动装置的驱动下，下降至单晶炉外部，保温层以下。