发明名称 |
基于叠印啁啾结构的DFB半导体激光器及激光器阵列 |
摘要 |
本发明公开了一种基于叠印啁啾结构的DFB半导体激光器,激光器腔内的光栅采用叠印啁啾光栅结构,由两个完全相同纳米精度的啁啾光栅在激光器腔内纵向排列组成;两个啁啾光栅级联或者重叠写入。两个完全相同的啁啾光栅在激光器光栅层纵向叠印后,可以以这两个光栅为反射面形成分布式谐振腔,从而产生多波长激射。为了降低加工成本,引入重构-等效啁啾技术(REC技术),将加工精度要求从亚纳米降低到亚微米,本发明还提供两种DFB半导体激光器单片集成的激光器阵列。基于REC技术的叠印啁啾结构的多波长DFB半导体激光器,采用采样布拉格光栅替代普通布拉格光栅,用等效光栅来实现叠印啁啾结构,降低了工艺的复杂程度,也提高了成品率。 |
申请公布号 |
CN103746288A |
申请公布日期 |
2014.04.23 |
申请号 |
CN201310717150.X |
申请日期 |
2013.12.23 |
申请人 |
南京大学 |
发明人 |
郑吉林;李玮淳;陈向飞 |
分类号 |
H01S5/12(2006.01)I;H01S5/40(2006.01)I |
主分类号 |
H01S5/12(2006.01)I |
代理机构 |
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 |
代理人 |
陈建和 |
主权项 |
一种基于叠印啁啾结构的DFB半导体激光器,其特征在于:该激光器腔内的光栅采用叠印啁啾光栅结构,由两个完全相同纳米精度的啁啾光栅在激光器腔内纵向排列组成;所述两个啁啾光栅级联或者重叠写入。 |
地址 |
210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号 |