用于光束对准的能量传感器

摘要

一种设备，包括：产生沿驱动轴传播的放大光束脉冲的驱动激光系统；将放大光束脉冲朝向目标区域引导的光束传输系统；在目标区域内提供包含靶材料的目标混合物的靶材料运送系统；与横跨目标区域的主轴径向分离的两个或更多传感器，两个或更多传感器被配置成检测当放大光束脉冲与目标混合物相遇时从等离子态的靶材料发射的紫外电磁辐射的能量；以及接收来自两个或更多传感器的输出的控制器。控制器被配置成基于对所检测到的能量进行的分析估计在目标区域内目标混合物和驱动轴之间的相对径向对准。

主权项

一种调整放大光束脉冲相对于目标混合物的靶材料的位置的方法，所述方法包括：沿驱动轴向目标混合物所在的目标区域引导所述放大光束脉冲，从而将目标混合物内靶材料的至少一部分转化为发射紫外电磁辐射的等离子态；在与横跨目标区域的主轴径向分离的两个或更多不同位置上检测所发射的电磁辐射的能量；分析所检测的能量；基于所分析的所检测能量，估计在目标区域内目标混合物和放大光束之间的相对径向对准；以及调整放大光束相对于目标区域内目标混合物的径向对准，从而调整目标区域内目标混合物与驱动轴之间的相对径向距离。