发明名称 |
一种扩散石英舟结构 |
摘要 |
本实用新型公开了一种扩散石英舟结构,包括石英舟片、石英舟卡位。所述的石英舟卡位处的间隔为逐步递减,石英卡位间距y=4.25-0.01x,其中x代表第x个卡位间距,最大间距为4.25mm,最小间距为3.25mm,减幅为0.01mm,舟总长为380mm,共100个卡位。石英舟在使用过程中,间距大的一端放在扩散炉炉口处,间距小的一端放在扩散炉炉内。本实用新型的有益效果是可以有效解决扩散方阻在炉内和炉口的差异以及片内不均匀度。 |
申请公布号 |
CN203562411U |
申请公布日期 |
2014.04.23 |
申请号 |
CN201320629905.6 |
申请日期 |
2013.10.14 |
申请人 |
浙江鸿禧光伏科技股份有限公司 |
发明人 |
徐杰 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种扩散石英舟结构,包括石英舟片、石英舟卡位,其特征在于:所述的石英舟卡位处的间隔为逐步递减,石英卡位间距y=4.25‑0.01x,其中x代表第x个卡位间距,最大间距为4.25mm,最小间距为3.25mm,减幅为0.01mm,舟总长为380mm,共100个卡位。 |
地址 |
314206 浙江省嘉兴市新仓镇童车路 |