兼具压力与非接触式间隙测量功能的一体型柔软传感元件

摘要

本发明涉及一种兼具压力与非接触式间隙测量功能的一体型柔软传感元件，属于传感器技术领域。该一体型传感元件包括绝缘封装薄膜、压敏薄膜和平面型电涡流线圈薄膜。绝缘封装薄膜由聚酰亚胺构成、压敏薄膜层由导电高分子复合材料构成、平面型电涡流线圈薄膜由聚酰亚胺薄膜和覆合其上的铜箔线圈构成。其中，导电高分子复合材料直接硫化在裸露的铜箔线圈上构成一体化结构，通过获取该一体化结构的阻抗来实现压力与非接触式间隙测量。本发明研制的一体型传感元件柔性好、厚度薄、工艺简单、成本低，仅用一套传感系统就可实现压力测量和非接触式间隙测量，适用于工业设备狭小曲面层间压力和间隙测量，其关键技术还可应用于多功能电子皮肤的研制。

主权项

一种兼具压力与非接触式间隙测量功能的一体型柔软传感元件，其特征在于，所述的一体型传感元件包括绝缘封装薄膜、压敏薄膜和平面型电涡流线圈薄膜三部分；绝缘封装薄膜由聚酰亚胺构成、压敏薄膜层由导电高分子复合材料构成、平面型电涡流线圈薄膜由聚酰亚胺薄膜和覆合其上的铜箔线圈构成；压敏薄膜的厚度、线圈间距和圈数可根据实际应用灵活调整。