用于硅太阳能电池制造的高速激光扫描系统

摘要

提供一种在太阳能电池制造期间使用多边形镜以及光束成形器在一个或多个层内激光钻孔的激光扫描装置。在背电触点形成期间，装置可用于在太阳能电池的背侧钝化层内激光钻孔。装置包含多边形镜的使用以改善太阳能电池背电触点形成的速度。装置也包括光束成形器的使用以调节光束的轮廓来在激光钻孔操作期间预防损坏底层太阳能电池基板。提供一种激光扫描模块来以闭回路的方式控制基板线性移动的速度与时机以及控制激光扫描装置的操作，以便对置于基板上的材料层激光钻孔。

主权项

一种用于将电磁波传递至太阳能电池基板的表面的装置，包含：多边形镜，具有数个反射刻面以及一旋转轴；致动器，设置以相对于所述旋转轴旋转所述多边形镜；激光源，定位以便将电磁波引导至所述多边形镜的至少一反射刻面；以及基板定位元件，具有基板支撑平面，其中所述基板定位元件设置以定位基板来接受从所述多边形镜的所述反射刻面反射的电磁波。