一种低成本、适合规模化量产的背接触电池生产方法

摘要

本发明公开了一种低成本、适合规模化量产的背接触电池生产方法，应用于太阳电池的生产制造，本发明只使用一道激光工序（激光打孔），采取常规的单面扩散，孔洞附近采取特殊的防漏电保护措施，其他工序都和常规电池一致，工艺简单、增加设备投入低，同时产品性能和成品率优于现有方案。

主权项

一种低成本、适合规模化量产的背接触电池生产方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）使用激光器在晶体硅片上开孔；（2）对打孔后的硅片进行前清洗与制绒，去除硅片表面和孔洞内的损伤层，降低光生载流子的复合速率，同时在硅片表面制成绒面降低反射率；（3）在上述硅片衬底淀积掺杂源并进行扩散制备PN结，硅片采取背靠背的方式插在扩散炉的石英卡槽里进行掺杂源扩散；常用的扩散源包括POCl3和BBr3；（4）在太阳能电池的背表面，以孔洞为中心制备一层绝缘保护层； （5）后清洗，去除太阳能电池周边及背面未被保护的背结，去磷硅玻璃；（6）在太阳能电池的正面蒸镀减反膜； （7）采用丝网印刷的方法印刷正面和背面电极；（8）烘干、烧结或者退火以形成良好的欧姆接触。