一种高剩余极化强度的BiFe_1-XMn_XO₃ 铁电薄膜及其制备方法

摘要

一种高剩余极化强度的BiFe_1-xMn_xO₃铁电薄膜及其制备方法，x=0.02～0.08，该薄膜为扭曲的钙钛矿结构，菱形晶系，均匀性好，在1kHz频率下，其剩余极化强度为100～130.4μC/cm²。制备方法：按摩尔比为1.05:(1-x):x将硝酸铋、硝酸铁和乙酸锰溶于乙二醇甲醚和醋酸酐混合而成的混合液中，得前驱液；在基片上旋涂前驱液，匀胶后烘烤得干膜，再退火，得BiFe_1-xMn_xO₃薄膜，重复旋涂前驱液、烘烤、退火至达到所需的薄膜厚度，得高剩余极化强度的BiFe_1-xMn_xO₃铁电薄膜。本发明设备要求简单，掺杂量易控，能够大幅度提高BiFeO₃薄膜的铁电性能和介电性能。

主权项

一种高剩余极化强度的BiFe_1‑xMn_xO₃铁电薄膜，其特征在于：其化学式为BiFe_1‑xMn_xO₃，x=0.02～0.08，在1kHz频率下，其剩余极化强度为100～130.4μC/cm²，介电常数为208.9～425.1。