发明名称 一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层的方法及产品
摘要 本发明公开了一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层的方法及产品,所述的制备方法包括如下步骤:(1)配制WCl<sub>6</sub>液相前驱体;(2)将基体进行清洗、除油除锈和表面粗化处理;(3)将步骤(1)制备的WCl<sub>6</sub>液相前驱体送入热喷涂设备中,经高温反应、干燥、煅烧、凝结沉积在基体表面,得到所述的超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层。所述的制备方法具有操作简单、工艺流程少、成本低、适合工业化生产等优点,制备得到的WO<sub>3</sub>气敏涂层具有超薄多孔的亚微米结构,厚度为500nm~1μm,具有优异的气敏性。
申请公布号 CN103741089A 申请公布日期 2014.04.23
申请号 CN201310743324.X 申请日期 2013.12.30
申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明人 武庆飞;黄晶;任坤;卢少阳;贺小燕;陈秀勇;刘奕;李华
分类号 C23C4/10(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I 主分类号 C23C4/10(2006.01)I
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人 刘诚午
主权项 一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层的方法,其特征是,包括如下步骤:(1)配制WCl<sub>6</sub>液相前驱体;(2)将基体进行清洗、除油除锈和表面粗化处理;(3)将步骤(1)制备的WCl<sub>6</sub>液相前驱体送入热喷涂设备中,经高温反应、干燥、煅烧、凝结沉积在基体表面,得到所述的超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层。
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