发明名称 |
一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层的方法及产品 |
摘要 |
本发明公开了一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层的方法及产品,所述的制备方法包括如下步骤:(1)配制WCl<sub>6</sub>液相前驱体;(2)将基体进行清洗、除油除锈和表面粗化处理;(3)将步骤(1)制备的WCl<sub>6</sub>液相前驱体送入热喷涂设备中,经高温反应、干燥、煅烧、凝结沉积在基体表面,得到所述的超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层。所述的制备方法具有操作简单、工艺流程少、成本低、适合工业化生产等优点,制备得到的WO<sub>3</sub>气敏涂层具有超薄多孔的亚微米结构,厚度为500nm~1μm,具有优异的气敏性。 |
申请公布号 |
CN103741089A |
申请公布日期 |
2014.04.23 |
申请号 |
CN201310743324.X |
申请日期 |
2013.12.30 |
申请人 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
发明人 |
武庆飞;黄晶;任坤;卢少阳;贺小燕;陈秀勇;刘奕;李华 |
分类号 |
C23C4/10(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I |
主分类号 |
C23C4/10(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 |
代理人 |
刘诚午 |
主权项 |
一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层的方法,其特征是,包括如下步骤:(1)配制WCl<sub>6</sub>液相前驱体;(2)将基体进行清洗、除油除锈和表面粗化处理;(3)将步骤(1)制备的WCl<sub>6</sub>液相前驱体送入热喷涂设备中,经高温反应、干燥、煅烧、凝结沉积在基体表面,得到所述的超薄多孔WO<sub>3</sub>气敏涂层。 |
地址 |
315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 |