长晶炉及长晶炉均匀散热的控制方法

摘要

本发明公开了一种长晶炉，包括：炉体；位于所述炉体内的坩埚；形成于所述炉体内壁上的保温板，所述的保温板包括水平设置于所述坩埚顶端的上保温内侧板，以及竖直分布于所述坩埚四周的下保温板，所述下保温板贴近所述坩埚底端边缘处的厚度小于下保温内板其他位置的厚度。本发明还公开了一种长晶炉均匀散热的控制方法。本发明通过长晶炉下保温内侧板几何形状的变更设计，我们就可利用保温板厚度变薄，保温效果变差的原理，将固有硅碇底侧边散热较慢的情形加以改善，而达到整体硅碇底部均匀散热的目的。避免定向垂直长晶时局部区域晶体结构错位(Dislocation)缺陷的增加，使硅碇整体转换效率得以提升。

主权项

一种长晶炉，其特征在于，包括：炉体；位于所述炉体内的坩埚；形成于所述炉体内壁上的保温板，所述的保温板包括水平设置于所述坩埚顶端的上保温内侧板，以及竖直分布于所述坩埚四周的下保温板，所述下保温板贴近所述坩埚底端边缘处的厚度小于下保温内板其他位置的厚度。