电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置

摘要

本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种电子束熔炼除氧与长晶技术耦合制备多晶硅的装置。包括炉体顶部通连安装有电子枪，侧部上端开有充气阀，下端开有放气阀，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨加热器和石墨碳毡，石墨碳毡顶部安装有保温盖，石英坩埚底部位置开设有孔，且石英坩埚底部安装有水冷铜底座。该装置将电子束熔炼除氧技术与初步的铸锭长晶过程有效地耦合在一起，从而实现了在同一设备上实现两种生产工艺的目的，同时利用电子束照射硅熔体表面，高效去除硅中的挥发性氧杂质。然后进行长晶，减少了破碎、清洗及烘干环节，减少了能耗，提高电池片的光电转换效率0.1%，总能耗降低超过30%，生产效率能够提高40%。

主权项

一种电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置，炉体顶部通连安装有电子枪，侧部上端开有充气阀，下端开有放气阀，其特征在于炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨加热器和石墨碳毡，石墨碳毡顶部安装有保温盖，石英坩埚底部中央位置开设有孔，且石英坩埚底部安装有水冷铜底座。