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发明名称
Wafer holder for stepper
摘要
申请公布号
USD703162(S1)
申请公布日期
2014.04.22
申请号
US201329448577F
申请日期
2013.03.13
申请人
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
发明人
TAMASO HIDETO
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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