发明名称 Optical element
摘要 An optical element has at least one additional element fitted thereon which dissipates the vibrational energy of the optical element by friction.
申请公布号 US8705185(B2) 申请公布日期 2014.04.22
申请号 US201213431378 申请日期 2012.03.27
申请人 RAU JOHANNES;SCHOEPPACH ARMIN;GEUPPERT BERNHARD;CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 RAU JOHANNES;SCHOEPPACH ARMIN;GEUPPERT BERNHARD
分类号 G02B7/02;G02B7/00 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
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