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发明名称
Optical element
摘要
An optical element has at least one additional element fitted thereon which dissipates the vibrational energy of the optical element by friction.
申请公布号
US8705185(B2)
申请公布日期
2014.04.22
申请号
US201213431378
申请日期
2012.03.27
申请人
RAU JOHANNES;SCHOEPPACH ARMIN;GEUPPERT BERNHARD;CARL ZEISS SMT GMBH
发明人
RAU JOHANNES;SCHOEPPACH ARMIN;GEUPPERT BERNHARD
分类号
G02B7/02;G02B7/00
主分类号
G02B7/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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