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发明名称 操作具有校正由光罩之精密效应所引起之成像像差的功能的微影投射曝光装置的方法
摘要
申请公布号 TWI435188 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW100109849 申请日期 2011.03.23
申请人 卡尔蔡司ＳＭＴ有限公司 德国 发明人 劳夫　乔哈尼斯
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 李宗德 台北市大安区敦化南路2段218号5楼Ａ区
主权项
地址 德国
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