狭缝阀门之控制,申请号TW098129085-传众专利搜索

发明名称	狭缝阀门之控制
摘要
申请公布号	TWI435016	申请公布日期	2014.04.21
申请号	TW098129085	申请日期	2009.08.28
申请人	应用材料股份有限公司美国	发明人	松本隆之;栗田真一
分类号	F16K3/02;F16K31/02	主分类号	F16K3/02
代理机构		代理人	蔡坤财台北市中山区松江路148号11楼;李世章台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址	美国