| 发明名称 |
堆叠及对位复数积体电路的方法及系统、以及制造具有对位及堆叠装置类型之积体电路的方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI435395 |
申请公布日期 |
2014.04.21 |
| 申请号 |
TW098144940 |
申请日期 |
2009.12.25 |
| 申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
发明人 |
卿恺明 |
| 分类号 |
H01L21/50;H01L23/50;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
