发明名称 浆料、研磨液组、研磨液、基板的研磨方法及基板
摘要
申请公布号 TWI434919 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW100142634 申请日期 2011.11.22
申请人 日立化成股份有限公司 日本 发明人 岩野友洋;成田武宪;龙崎大介
分类号 C09K3/14;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 日本