被膜表面处理方法,申请号TW099124052-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	被膜表面处理方法
摘要
申请公布号	TWI435386	申请公布日期	2014.04.21
申请号	TW099124052	申请日期	2010.07.20
申请人	爱发科股份有限公司日本	发明人	小平周司;吉滨知之;鎌田恒吉;堀田和正;滨口纯一;中西茂雄;丰田聪
分类号	H01L21/311;C23C14/58;C23C16/56	主分类号	H01L21/311
代理机构		代理人	陈长文台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址	日本

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