发明名称 化学性放大阻剂组成物
摘要
申请公布号 TWI435169 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW096145847 申请日期 2007.12.03
申请人 住友化学股份有限公司 日本 发明人 山口训史;山本敏;安藤信雄
分类号 G03F7/004;C07C381/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 日本