载台装置及曝光装置,申请号TW096125795-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	载台装置及曝光装置
摘要
申请公布号	TWI435180	申请公布日期	2014.04.21
申请号	TW096125795	申请日期	2007.07.16
申请人	尼康股份有限公司日本	发明人	柴崎佑一
分类号	G03F7/20;H01L21/027;H01L21/683	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人	陈传岳台北市大安区仁爱路3段136号13楼;郭雨岚台北市大安区仁爱路3段136号13楼
主权项
地址	日本

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