发明名称 昇降机构及搬送装置
摘要
申请公布号 TWI435403 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW095132468 申请日期 2006.09.01
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 中山秀树
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本