发明名称 具有气体均匀分散的电浆腔体
摘要
申请公布号 TWM476785 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW102223479 申请日期 2013.12.12
申请人 亚树科技股份有限公司 台南市新市区南科二路12号R205室 发明人 李炳寰;庄峻铭;黄俊凯;叶昌鑫
分类号 C23C16/513 主分类号 C23C16/513
代理机构 代理人 蔡坤旺 台北市中山区长安东路2段81号3楼之1
主权项
地址 台南市新市区南科二路12号R205室