曝光装置用光照射装置,申请号TW100104014-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	曝光装置用光照射装置
摘要
申请公布号	TWI435186	申请公布日期	2014.04.21
申请号	TW100104014	申请日期	2011.02.01
申请人	安士克科技股份有限公司日本	发明人	川岛洋德;轻石修作;永井新一郎;原田智纪
分类号	G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人	陈长文台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址	日本

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