发明名称 执行处方评估的电脑执行方法及制品
摘要
申请公布号 TWI435193 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW097111026 申请日期 2008.03.27
申请人 兰姆研究公司 美国 发明人 黄中和;罗伯特 赫夫提;安德鲁 吕;多芙 赫伯特;查尔斯 波特
分类号 G05B19/418;G06F19/00;H01L21/02 主分类号 G05B19/418
代理机构 代理人 许峻荣 新竹市民族路37号10楼
主权项
地址 美国