用于缺陷钝化之高Ｋ闸极堆叠的氟电浆处理,申请号TW096135771-传众专利搜索

发明名称	用于缺陷钝化之高Ｋ闸极堆叠的氟电浆处理
摘要
申请公布号	TWI435376	申请公布日期	2014.04.21
申请号	TW096135771	申请日期	2007.09.26
申请人	应用材料股份有限公司美国	发明人	克劳司菲利浦Ａ
分类号	H01L21/205;H01L21/336	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人	蔡坤财台北市中山区松江路148号11楼;李世章台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址	美国