发明名称 光阻组成物用高分子化合物的合成方法
摘要
申请公布号 TWI435175 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW097127796 申请日期 2008.07.22
申请人 信越化学工业股份有限公司 日本 发明人 武田隆信;渡边保
分类号 G03F7/038;G03F7/039;C08F6/04 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本