发明名称 半导体装置及半导体装置之制造方法
摘要
申请公布号 TWI435435 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW097149884 申请日期 2008.12.19
申请人 旭化成电子材料元件股份有限公司 日本 发明人 马可 可利奇克;汤米斯拉夫 苏黎高吉;望月秀则;森田宗一
分类号 H01L27/02;H01L21/8249 主分类号 H01L27/02
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本