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发明名称 用于自气体流移除氟之方法及装置
摘要
申请公布号 TWI434729 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW096119219 申请日期 2007.05.30
申请人 爱德华有限公司 英国 发明人 安德鲁　詹姆斯　希利
分类号 B01D53/68;H01L21/3065 主分类号 B01D53/68
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 英国
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