剂量均匀性校正方法,申请号TW096112834-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	剂量均匀性校正方法
摘要
申请公布号	TWI435378	申请公布日期	2014.04.21
申请号	TW096112834	申请日期	2007.04.12
申请人	艾克塞利斯科技公司美国	发明人	亚费德Ｍ　哈林
分类号	H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人	桂齐恒台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址	美国

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