| 摘要 |
Тепловой акселерометр, представляющий собой чувствительный элемент, помещенный в герметичный корпус, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде неподвижной многослойной мембраны, состоящей из чередующихся слоев из соединений кремния, мембрана расположена на рамке из кремния, которая выполнена заедино с мембраной, на плоскости мембраны, со стороны, противоположной рамке, зафиксирован терморезистивный элемент произвольной формы, вокруг которого расположены батареи термопар и теплопроводящий слой из соединений кремния, причем контактные площадки терморезистивного элемента расположены на рамке, а горячие спаи термопар - на мембране, холодные спаи и контактные площадки термопар расположены на рамке, корпус заполнен газом. |
