| 摘要 |
Система для получения нанопленок Гейслера, содержащая загрузочную камеру, камеру роста, магнитный шток для подачи в нее через сверхвысоковаккумный шибер подложек и мишеней, закрепленных в системах крепления подложек и мишеней соответственно, а также Nd:YAG лазер, установленный с возможностью подачи излучения на мишень через оптический тракт, отличающийся тем, что в состав системы включен, по крайней мере, еще один Nd:YAG лазер, установленный с возможностью подачи излучения на другие мишени, а также управляемые зеркала, выполненные с возможностью быстрого изменения положения лучей лазеров на мишенях. |
