Vorrichtung zum Bestimmen der Temperatur eines Substrats

摘要

Vorrichtung zum Bestimmen der Temperatur eines Substrats (W), während einer Erwärmung durch wenigstens eine erste Strahlungsquelle (8), wobei die Vorrichtung folgendes aufweist: – eine erste Gitterstruktur (16) mit Gitterlinien (18), die für einen wesentlichen Teil der Strahlung der ersten Strahlungsquelle (8) undurchlässig sind, wobei die Gitterstruktur (16) zwischen der ersten Strahlungsquelle (8) und dem Substrat (W) angeordnet ist; – eine Bewegungseinheit zum Bewegen der ersten Gitterstruktur (16), – einen ersten Strahlungsdetektor (20), der unmittelbar auf die zur Gitterstruktur (16) weisende Oberfläche des Substrats (W) gerichtet ist; – eine Einrichtung zum Bestimmen einer vom Substrat (W) aufgrund seiner Eigentemperatur emittierten Strahlung und der Temperatur des Substrats (W) anhand einer vom ersten Strahlungsdetektor (20) detektierten Strahlung.