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Eine Verlagerungsdetektionsvorrichtung (1) enthält eine Skaleneinheit (2) und eine Detektionskopfeinheit (3). Die Skaleneinheit (2) weist eine Referenzspureinheit (4) und Teilspureinheiten (5, 6) auf, wobei sich die Richtungen (XA, XB, XC) der Schrittweite dieser Einheiten voneinander unterscheiden. Die Detektionskopfeinheit (3) weist drei oder mehr Detektionseinheiten (7, 8, 9) auf, die zum Lesen der Skalen der Referenzspureinheit (4) und der Teilspureinheiten (5, 6) und zum Ausgeben von Signalen in Übereinstimmung mit den gelesenen Skalen (10) konfiguriert sind. Die drei Detektionseinheiten (7, 8, 9) detektieren in einer Ebene, die parallel zu einer Ebene ist, entlang deren sich die Detektionskopfeinheit (3) bewegt, die Verlagerung in zwei orthogonalen Richtungen. |
