Mikroelektromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Bauelementes

摘要

Mikroelektromechanisches Bauteil und ein Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Bauteils mit einer verbesserten Langzeitstabilität der ladungsspeichernden Schicht. Eine ladungsspeichernde Schicht wird vollständig von dielektrischen Schichten umschlossen, so dass zwischen landungsspeichernder Schicht und dielektrischen Schichten eine hohe Potenzialbarriere besteht. Im normalen Betrieb ist ein Überwinden dieser hohen Potenzialbarriere nicht möglich, wodurch die gespeicherten Ladungsträger über einen sehr langen Zeitraum erhalten bleiben.