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Poliervorrichtung, die umfasst: einen Tisch (3), auf dem ein zu polierendes Element (5) angeordnet wird; mindestens eine Düse (10, 12, 13, 14), die eine Oberfläche des zu polierenden Elements (5) formt und poliert, indem eine Polierlösung auf eine Zone des zu polierenden Elements (5) gespritzt wird, und Relativbewegungsmittel zum relativen Bewegen der Düse (10, 12, 13, 14) und des zu polierenden Elements (5); wobei die Poliervorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, dass sie ferner umfasst: Formmessmittel zum Messen einer Form jedes Bereichs jedes der zu polierenden Elemente (5) für jeden Poliervorgang; und Mittel zum Festlegen, basierend auf einer Zielform, eines Unterschieds zwischen einem Messwert des zu polierenden Elements (5) und einem Zielwert als Poliergröße für jedes zu polierende Element (5). |
