发明名称 |
一种扫描近场光学检测台 |
摘要 |
本实用新型提供一种扫描近场光学检测台,包括:本体(22);所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面;所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间;收容于所述收容空间内用于放置工件(17)的矩形工作台(18);所述矩形工作台包括底面以及相互垂直相邻的四个侧面;所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元(21);所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元(11);所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。本实用新型支柱伸长量可调、可测,因此工作台的位移精度较高且控制较为简单;工作台运动的有效行程较大。 |
申请公布号 |
CN203551595U |
申请公布日期 |
2014.04.16 |
申请号 |
CN201320724059.6 |
申请日期 |
2013.11.15 |
申请人 |
江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
黄海阳;武爱民;甘甫烷;盛振;李伟 |
分类号 |
G01Q60/18(2010.01)I |
主分类号 |
G01Q60/18(2010.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
李仪萍 |
主权项 |
一种扫描近场光学检测台,其特征在于,所述扫描近场光学检测台至少包括:本体(22);所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面;所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间;收容于所述收容空间内用于放置工件(17)的矩形工作台(18);所述矩形工作台包括与XOY平行的底面以及垂直于所述底面且相互垂直相邻的四个侧面;所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元(21);所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元(11);所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。 |
地址 |
226009 江苏省南通市苏通科技产业园纬14路30号 |