| 发明名称 | 检查装置 | ||
| 摘要 | 提供一种检查装置，其在一台检查装置中应对种类不同的被检查体的检查，并且提高检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。检查被检查体的检查装置具备检查上述被检查体的多个探测单元机构和与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。 | ||
| 申请公布号 | CN103728505A | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN201310481443.2 | 申请日期 | 2013.10.15 |
| 申请人 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 发明人 | 三浦一佳;高木一也;夏堀公士 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 一种检查装置，检查被检查体，其特征在于，上述检查装置具备：检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||