一种空心阴极喷枪装置

摘要

本发明涉及一种空心阴极喷枪装置，包括外层壳体和内层阴极套管，外层壳体和内层阴极套管之间设有中间绝缘层，内层阴极套管连接高频电源正极，阴极套管围成部分或者整体内部空间空心的空心阴极结构，内层阴极套管上端还开设有通气孔，外层壳体接地。由于阴极套管围成空心阴极结构，空心阴极中的电子束将彼此汇合，形成电子溅射，振荡强度高，使得放电形成的等离子体能量高，并且由于外层壳体形成的外层阳极接地，提高了喷枪的安全系数。另外本装置不需要负压条件，使其在普通的大气环境下也能工作，处理材料效果佳。

主权项

一种空心阴极喷枪装置，包括外层壳体和内层阴极套管，所述外层壳体和所述内层阴极套管之间设有中间绝缘层，其特征在于，所述内层阴极套管连接高频电源正极，所述阴极套管围成部分或者整体内部空间空心的空心阴极结构，所述内层阴极套管上端还开设有通气孔，所述通气孔连接通气管道。