| 发明名称 | 一种外延片蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出一种外延片蒸镀装置，包括承载盘和蒸镀单元；所述蒸镀单元包括能被磁铁吸引的固定块、磁铁、不能被磁铁吸引的盖子、外延片、能被磁铁吸引的光罩片，所述光罩片上具有蒸镀孔；所述固定块固定设置在所述承载盘上，所述盖子将所述磁铁密封在所述固定块上，所述外延片设置在所述盖子与所述光罩片之间。在蒸镀承载盘直径和磁铁直径不变的情况下，通过缩小固定块、盖子和光罩片的直径、缩小固定块与固定块之间的间距，可将单个承载盘承载的蒸镀单元由50个提升到62个，相应地，蒸镀的外延片的数量由50个也提升为62个，蒸镀金属成本降低19.3%，使得成品成本降低，提升了产品在市场上的竞争力。 | ||
| 申请公布号 | CN203546135U | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN201320620068.0 | 申请日期 | 2013.10.09 |
| 申请人 | 元茂光电科技（武汉）有限公司 | 发明人 | 胡泰祥 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 张大威 |
| 主权项 | 一种外延片蒸镀装置，其特征在于，包括承载盘（1）和蒸镀单元；所述蒸镀单元包括能被磁铁吸引的固定块（2）、磁铁（3）、不能被磁铁吸引的盖子（4）、外延片（5）、能被磁铁吸引的光罩片（6），所述光罩片（6）上具有蒸镀孔（61）；所述固定块固定设置在所述承载盘上，所述盖子将所述磁铁密封在所述固定块上，所述外延片设置在所述盖子与所述光罩片之间。 | ||
| 地址 | 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区滨湖路6号 | ||