一种用于真空镀膜的钨舟或钼舟

摘要

一种用于真空镀膜的钨舟或钼舟，包括一体结构的舟皿本体，所述舟皿本体包括内腔为四棱锥形的槽体，所述槽体中两个相对的侧板的顶端均设有阶梯状的延伸板，另外两个相对的侧板的两端的内表面均呈波纹状。本实用新型中，在舟皿本体的槽体中两个相对侧板的两端设置的波纹状的内表面，能够避免其中盛放的熔融态的蒸发源的上液面形成弧形面，使槽体中盛放的熔融态的蒸发源上表面铺展更均匀、平整，防止所形成的镀膜的厚度不均匀。

主权项

一种用于真空镀膜的钨舟或钼舟，包括一体结构的舟皿本体，其特征在于：所述舟皿本体包括内腔为四棱锥形的槽体（1），所述槽体（1）中两个相对的侧板的顶端均设有阶梯状的延伸板（2），另外两个相对的侧板的两端的内表面均呈波纹状。