热场装置

摘要

本实用新型提供了一种热场装置，包括中保温罩和保温毡，保温毡环绕中保温罩设置，热场装置还包括：第一保护环，第一保护环设置在中保温罩的上端的外壁上；第二保护环，第二保护环设置在中保温罩的下端的外壁上；其中，保温毡的至少一部分位于第一保护环和第二保护环之间的凹槽内。本实用新型的中保温罩上设置有第一保护环和第二保护环，且保温毡的至少一部分设置在第一保护环和第二保护环之间的凹槽内，这样，既可以防止从中保温罩的上、下两侧流出的气体老化该部分保温毡，又可以避免变成粉末状的保温毡进入中保温罩的内侧，污染单晶硅生长的环境。

主权项

一种热场装置，包括中保温罩（10）和保温毡（40），所述保温毡（40）环绕所述中保温罩（10）设置，其特征在于，所述热场装置还包括：第一保护环（20），所述第一保护环（20）设置在所述中保温罩（10）的上端的外壁上；第二保护环（30），所述第二保护环（30）设置在所述中保温罩（10）的下端的外壁上；其中，所述保温毡（40）的至少一部分位于所述第一保护环（20）和所述第二保护环（30）之间的凹槽内。